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진공 밸브

진공 밸브

진공 밸브는 거친 진공에서 초고진공(UHV) 환경까지 작동하는 진공 시스템 내에서 가스 흐름을 제어하고 격리하는 데 중요한{0}}정밀 엔지니어링 구성요소입니다. 이 밸브는 탁월한 밀봉 성능, 높은 전도성 및 최소 가스 방출을 제공하여 시스템 무결성을 유지하도록 설계되었습니다. 이는 반도체 제조,{4}}박막 코팅, 입자 가속기 및 분석 장비를 포함한 다양한 첨단 산업 및 과학 응용 분야에서 중추적인 역할을 합니다. 압력 범위, 작동 방법 및 밀봉 기술을 고려한 적절한 선택은 공정 안정성, 오염 제어 및 작동 안전을 보장하는 데 매우 중요합니다.

제품 특징 및 경쟁 우위

 

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모든 기능을 위한 포괄적인 밸브 포트폴리오: 당사는 다양한 시스템 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 진공 밸브 유형을 제공합니다. 여기에는 UHV 시스템의 높은-컨덕턴스 격리를 위한 게이트 밸브, 좁은 공간에서 효율적인 흐름 방향 변경을 위한 앵글 밸브, 대형 덕트의 신속한 격리를 위한 버터플라이 밸브, 제어된 가스 도입을 위한 정밀 누출 밸브가 포함됩니다. 이를 통해 격리, 제어 또는 환기 기능을 위한 완벽한 밸브를 찾을 수 있습니다.

 

2

최고의 무결성을 위한 고급 밀봉 기술: 당사의 밸브는 필요한 진공 수준을 달성하고 유지하기 위해 최첨단 밀봉 솔루션을 사용합니다.{0}} 고진공(HV) 응용 분야의 경우 당사는 Viton®과 같은 고품질{4}}탄성중합체 씰을 제공합니다. 초-고진공(UHV) 및 고온{7}}환경을 위해 우리는 최대 450도의 베이크아웃 온도를 견디고 1x10⁻1⁰ mbar·L/s 미만의 헬륨 누출률을 달성하여 오염이 전혀 발생하지 않는 모든-금속 씰과 벨로우즈-밀봉 설계를 제공합니다.

 

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높은 컨덕턴스 및 최소 가스 배출에 최적화: 밸브의 내부 구조는 컨덕턴스를 최대화하고 흐름 저항 및 펌프 가동 중지 시간을 최소화하도록 세심하게 설계되었습니다-. 모든 젖은 표면은 낮은 거칠기(일반적으로 Ra < 0.5 µm)로 마감 처리되며 표면적과 가스 방출을 대폭 줄이기 위해 종종 전해연마 처리됩니다. 이는 낮은 기본 압력을 달성하고 유지하는 데 중요합니다.

 

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표준화된 연결을 갖춘 견고한 구조: 304 또는 316L 스테인리스강으로 제조된 당사 밸브는 뛰어난 내식성과 내구성을 제공합니다. ISO-KF, ISO-F 및 CF(ConFlat)와 같은 표준화된 진공 플랜지를 갖추고 있어 기존 시스템에 쉽고 누출이 없는- 통합을 보장하고 상호 교환성을 보장합니다.

 

5

유연하고 안정적인 작동 옵션: 다양한 수준의 자동화 및 제어에 적합하도록 당사 밸브는 수동, 공압 및 전기 작동 방식으로 제공됩니다. 공압 액추에이터는 빠르고 안전한 작동을 제공하며, 전기 액추에이터는 정밀한 제어와 PLC 및 SCADA 시스템과의 원활한 통합을 통해 완전 자동화된 프로세스를 제공합니다.

 

 

일반적인 사양

 

압력 범위: 10⁵ ~ 10⁻¹⁰ mbar(대기 ~ UHV)

밸브 유형: 게이트, 앵글, 버터플라이, 볼, 진자, 누출, 체크 및 환기 밸브

연결 유형: ISO-KF, ISO-F, CF(ConFlat), ANSI

본체 재질: 304 스테인레스 스틸, 316L 스테인레스 스틸

씰 유형: Viton(FKM), Buna-N(NBR), 금속(구리, 알루미늄), 전체-금속 벨로우즈

작동: 수동 레버/핸드휠, 공압식, 전기식

 

우리의 서비스 및 지원

 

우리는 귀사의 진공 프로세스가 완벽하게 실행되도록 엔드{0}}투엔드 지원을 제공합니다.

 

 

◎전문 기술 상담: 당사 엔지니어는 밸브 선택을 지원하고 컨덕턴스 차트, 호환성 안내 및 고유한 응용 문제에 대한 맞춤형 솔루션을 제공합니다.

◎완전한 문서화 및 인증: 상세한 CAD 모델, 설치 매뉴얼 및 재료 인증을 제공합니다. UHV 제품의 경우 모든 밸브에 대해 인증된 헬륨 누출 테스트 보고서를 제공합니다.

◎글로벌 예비 부품 및 유지 관리 키트: 씰 키트, 벨로우즈 어셈블리 및 액추에이터를 포함한 포괄적인 예비 부품 재고를 유지하여 시스템 가동 중지 시간을 최소화하고 밸브 서비스 수명을 연장합니다.

 

FAQ

 

Q: 초-고진공(UHV) 응용 분야에는 어떤 유형의 밸브와 씰을 사용해야 합니까?

A: For UHV systems, all-metal sealed gate valves are the standard choice. They utilize copper or aluminum gaskets on CF flanges and feature metal-sealed stems (often with welded bellows) to eliminate elastomers. This construction can withstand high-temperature bake-out (typically >200도) 가스 방출을 최소화하고 10⁻¹⁰ mbar 범위 이하의 기본 압력을 달성합니다.

질문: 볼 밸브가 고진공 애플리케이션에 적합하지 않은 이유는 무엇인가요?{0}}

A: 볼 밸브는 빠른 작동으로 인해 저진공 및 중간 진공에 탁월하지만 본질적인 설계로 인해 가상 누출이 발생할 수 있습니다. 볼 주위의 공동은 시스템으로 천천히 방출되는 가스를 가두어 도달 가능한 최대 진공을 제한할 수 있습니다. 높은 UHV 응용 분야의 경우 보다 선형적인 흐름 경로를 가진 게이트 또는 진자 밸브가 선호됩니다.

Q: 리크 밸브의 기능은 무엇입니까?

A: 누출 밸브 또는 가스 주입 밸브는 격리용이 아니라 정확한 계량용입니다. 이는 매우 작고 제어된 가스 흐름을 진공 챔버에 도입하는 데 사용됩니다. 이는 반응 가스의 특정 부분압을 유지해야 하는 스퍼터링이나 CVD(화학 기상 증착)와 같은 공정에 필수적입니다.

Q: 진공 밸브의 공압 액추에이터의 주요 장점은 무엇입니까?

A: 공압식 작동은 속도(빠른 열기/닫기 주기), 안전(공기 손실 시 닫히도록 안전 작동을 위해 구성 가능), 적합성(전기 스파크가 위험할 수 있는 환경에서 사용 가능)의 세 가지 주요 이점을 제공합니다. 이는 자동화된 주기- 기반 프로세스에 이상적입니다.

Q: 내 시스템에 적합한 플랜지 유형을 어떻게 선택합니까?

A: 선택은 압력 범위와 시스템 크기에 따라 다릅니다.

ISO-KF(QF): 고진공(HV)의 중소형 시스템에 이상적입니다. 그들은 작고 조립하기 쉽습니다.

ISO{0}}F: HV 응용 분야에서 더 큰 직경에 사용되며 더 높은 강성을 위해 볼트로 고정됩니다.

CF(ConFlat): UHV 시스템의 표준입니다. 금속- 밀봉(구리 개스킷) 설계로 베이킹이 가능하고 최고의 무결성을 제공합니다.

인기 탭: 진공 밸브, 중국 진공 밸브 제조업체, 공장

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